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		FFU使用說明書		
          
		
		
          
		  
            
		 
			 
			
          • 2015-12-04FFU風(fēng)機過濾器單元使用說明書
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            [摘要]：風(fēng)機過濾器單元 FFU使用說明書
請詳細閱讀本說明書，并妥善保存，以備日后維護時參考 ?。
1-1 風(fēng)機過濾器單元
風(fēng)機過濾器單元（FFU ）是一種 自帶動力、具有過濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝 置 。
風(fēng)機從 FFU 頂部將空氣吸入并經(jīng) HEPA 過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風(fēng)面以0.45m/s±20%的風(fēng)速均勻送出。廣泛用于半導(dǎo)體...[閱讀全文]
            
					
		  
          
		
          
		
		
          
		
	
          
	
	
          
			
          
	
	
          
	
	
	
          


          


	

	
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